HORIBA

コンパクトプロセスモニタ 4～300AMU KF/NW16フランジ取り合い　MICROPLE System-300-K

Name: コンパクトプロセスモニタ 4～300AMU KF/NW16フランジ取り合い MICROPLE System-300-K
Price: 1322552 JPY
Availability: InStock

特徴

四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。低真空（高圧）域0.5Pa（3.8mtorr）での操作可能コンパクトユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に出来ます

仕様

測定範囲：4～300AMU最大使用圧力(N2)：0.9Pa最小検知分圧(N2)：5×10-6Pa(70eV)プラズマガード付きセンサー：KF/NW16フランジ取り合いセット製品詳細：(1)スペクトラムジェネレーター/(2)センサー/(3)電源ユニット/(4)SG-電源間ケーブル3m/(5)SG-PC間ケーブル3m/(6)専用クランプ/(7)ソフトウェア/(8)USB-シリアル変換機/(9)変換アダプタ※単体購入は別途お打合せ※オプションで差動排気システムもございます

型番：

MICROPLE System-300-K